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10、氣體供應

文章作者:超級管理員  文章來源:本站  點擊: 29978次  時間:2022-08-11 10:31:49

  10 氣體供應

  10.1 一般規(guī)定

  10.1.1 潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣,其氣體品質(zhì)應滿足生產(chǎn)工藝要求。

  10.1.2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng),應根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

  10.1.3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng),除應符合本規(guī)范外,還應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50030等的有關(guān)規(guī)定。

  10.1.4 潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管,應敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當與水、電管線共架時,比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部,比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

  10.1.5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷,穿過潔凈室(區(qū))的墻壁或樓板處的管段應設(shè)置套管,套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應采取密封措施。

  10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間;當必須穿過時應設(shè)套管或雙層管。

  10.1.7 高純氣體管道設(shè)計應符合下列規(guī)定:

  1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定,管外徑不宜小于6mm,壁厚不宜小于1mm,

  2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間,

  3 管道系統(tǒng)應設(shè)置吹掃口和取樣口。

  10.1.8 潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應設(shè)置下列安全設(shè)施:

  1 可燃氣體管道設(shè)置閥門時應設(shè)置閥門箱,閥門箱應設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風裝置,報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖;

  2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管,宜設(shè)置阻火設(shè)施;

  3 引至室外的放散管,應設(shè)置防雷保護設(shè)施,

  4 應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施。

  10.1.9 氣體過濾器應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設(shè)置在靠近用氣點處。

  10.2 常用氣體系統(tǒng)

  10.2.1 常用氣體供應系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

  10.2.2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設(shè)置放散管。氫氣放散管口應設(shè)置阻火器。放散管引至室外,應高出本建筑的屋脊1m,并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

  10.2.3 氣體純化裝置的設(shè)置,應符合下列要求:

  1 氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;

  2 氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時,氣體純化間宜與氣體入口室合建;

  3 各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時,也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);

  4 氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處。

  10.2.4 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。

  10.2.5 氣體純化間(站)或氣體入口室內(nèi),設(shè)有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時,氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定,并應符合下列規(guī)定:

  1 應靠外墻設(shè)置,并應設(shè)置防爆泄壓設(shè)施;

  2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設(shè)置自動切斷閥;

  3 應具有良好的自然通風,并應設(shè)置事故排風裝置;

  4 應設(shè)置氣體泄漏報警裝置,并應與事故排風裝置聯(lián)鎖;

  5 應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施。

  10.2.6 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等,應采取下列安全技術(shù)措施:

  1 管道及閥門、附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理;

  2 應設(shè)置導除靜電的接地設(shè)施;

  3 氧氣引入管道上應設(shè)置自動切斷閥。

  10.2.7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設(shè)置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時,氣瓶可設(shè)置在潔凈室(區(qū))內(nèi),但應采取不積塵和易于清潔的措施。

  10.2.8 氣體管道和閥門應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇,宜符合下列規(guī)定:

  1 氣體純度大于或等于99.999999%時,應采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管,閥門應采用隔膜閥;

  2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76℃時,宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管,閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥;

  3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60℃時,宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管,除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外,其余氣體管道宜采用球閥;

  4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

  10.2.9 氣體管道連接,應符合下列規(guī)定:

  1 管道連接應采用焊接,

  2 不銹鋼管應采用氬弧焊,宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊;

  3 管道與設(shè)備或閥門的連接,宜采用表面密封的接頭或雙卡套,接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

  4 管道與設(shè)備的連接應符合設(shè)備連接的要求。當采用軟管連接時,宜采用金屬軟管。

  10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)

  10.3.1 潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應符合下列規(guī)定,

  1 供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應設(shè)有一定的備用供氣量;

  2 供氣品質(zhì)應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;

  3 供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;

  4 應選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機;

  5 含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

  10.3.2 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點低于-76℃時,應采用內(nèi)壁電拋光低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光不銹鋼管;露點低于-40℃時,宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

  10.3.3 管道連接應符合下列規(guī)定:

  1 宜采用焊接,不銹鋼管應采用氬弧焊;

  2 含水量露點嚴于-40℃時,用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊;

  3 當采用軟管連接時,宜采用金屬軟管。

  10.4 特種氣體系統(tǒng)

  10.4.1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應,在電子工廠內(nèi)應設(shè)置儲存、分配系統(tǒng)。

  10.4.2 潔凈廠房內(nèi)特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區(qū))分隔,隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

  10.4.3 潔凈室(區(qū))內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置,應符合下列規(guī)定:

  1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應設(shè)置在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中;

  2 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設(shè)置應急電源;

  3 一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時,應設(shè)置多路閥門箱;

  4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設(shè)置應符合本規(guī)范第10.1和10.2節(jié)的有關(guān)規(guī)定。

  10.4.4 特種氣體分配系統(tǒng)應設(shè)置吹掃盤,并應符合下列規(guī)定:

  1 應設(shè)置應急切斷裝置;

  2 應設(shè)置過流量控制裝置,

  3 應設(shè)置手動隔離閥;

  4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng);

  5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

  10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設(shè)置應符合下列規(guī)定:

  1 儲存區(qū)應至少三面敞開,氣瓶應固定在鋼制框架上;

  2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應大于3.0m;

  3 儲存區(qū)頂棚的高度應大于3.5m。



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